Finesystem :: EM エレクトロマイグレーションテスター

ダイレクトヒーティングシステム(DHS)、又は高温槽で
直接試料に温度ストレスを与え
エレクトロマイグレーション(EM) を評価を
行うシステムです。

高温での加速ストレスにより、
チップ内の配線寿命を評価することが出来ます。

特徴

・最大1000mA/TEG までの高出力電流印加が可能です。

・チャネル毎に電流設定が可能で、60 水準までの同時評価が出来ます。

・高精度/ 高分解能によりTCR 試験が可能です。

・フィードバック制御による定電力ストレスが出来ます。

・DHS(Max300℃) や高温槽(Max400℃) と連動しＥＭ評価が出来ます。

・対数正規プロットや各種経過グラフなどにより多彩な評価が可能です。

用途

・EM 測定：ストレス電流を印加しEM を測定します。

・TCR 測定：配線抵抗値の温度依存性( 温度特性) を測定します。

・リーク測定：電圧を印加し、TEG パターン間のリーク電流を測定します。

実測例

システム構成例